訪問次數:1772
更新日期:2025-05-02
簡要描述:
日本yamashitadenso表面缺陷探傷儀應用流傳已久的魔鏡(透光鏡)原理,達成實時檢測鏡面平板基材表面狀態的裝置。受世界各地的矽晶圓廠所用。
| 品牌 | 其他品牌 | 類型 | 無損傷 |
|---|---|---|---|
| 產地 | 進口 |
日本yamashitadenso表面缺陷探傷儀


即時顯示所有表面狀態。
光學系統對應等級1
光學系統無須維護。
根據檢測內容,可修正檢測靈敏度。
| 檢測尺寸 | 從φ100mm至φ300mm |
| 檢測內容 | 平坦度、凹洞、凸起、刮痕、橘皮等 |
| 檢測倍率 | 1x / 3x 模式可切換(標準設備) |
| 檢測靈敏度 | 檢測靈敏度可連續調整 |
| 使用光源 | 550nm (固定照度之穩定光源) |
| 鏡頭 | 高解析度CCD鏡頭 |
| 平臺 | 手動平臺(標準設備) |
| 鏡面晶圓的表面檢測 |
| 滑線檢測 |
| 玻璃基板檢測 |
| 其他鏡面基板檢測 |
| 電動馬達檢測平移臺 |
| 自動判定缺陷影像處理裝置 |
| 影像列印機 |
| 搬運裝置 |
※ 可以隨時在敝公司內展示。
※ 可將樣品寄送過來,之后我們再將影像結果回寄。